基於一維結構之摻雜鈰氧化鋅奈米柱陣列表面微結構與光學特性研究
陳柏諺2*, 高銘政1, 陳宏仁1, 楊尚霖1, 黃耀賢1, 林佳賢1, 王文龍2, 陳韋州2, 李孟哲2
1電子工程系, 修平科技大學, 台中市, Taiwan
2電機工程碩士班, 修平科技大學, 台中市, Taiwan
* presenting author:Po-Yen Chen, email:ftt87626@gmail.com
本研究將氧化鋅晶種層製作於矽基板上,並利用水熱法(Hydrothermal)成長摻雜硝酸鈰(Ce)之氧化鋅奈米柱。利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)於矽基板上成長氧化鋅薄膜作為氧化鋅(Zn1-xCexO)奈米線之晶種層。本研究中改變摻雜鈰的濃度為x=0、0.02、0.04、0.06。透過掃描式電子顯微鏡和X光繞射儀觀察晶體結構及分析表面型態,並了解其繞射峰強度與其晶相生長之關係,結果得知繞射峰(002)晶相具有最優良取向成長;另從螢光光譜儀(PL)量測分析出不同鈰(Ce)元素摻雜量會使奈米線的能隙產生變化,因摻雜濃度不同,奈米柱長度也有所變,藉此探討其材料微結構及光學特性。


Keywords: 氧化鋅, 溶膠凝膠, 水熱法, 奈米柱, 光學